摘要：在微波管研制過程中,電子槍真空除氣過程的主要作用是對陰極進行加熱,獲得燈絲電流電壓與溫度的關系曲線、檢驗電子槍正常工作時燈絲的電流電壓,測試電子槍快速啟動參數(shù),測量陰極、聚束極熱膨脹量和陰極高溫時電子槍材料充分預蒸散從而減少電子槍的蒸散物。根據(jù)微波管電子槍結構特點和性能要求,設計和開發(fā)了極限真空度2×10-7Pa且具有溫度、膨脹量等性能測試功能的雙工位電子槍真空除氣系統(tǒng)。除氣系統(tǒng)由直聯(lián)泵作為前級泵、分子泵和離子泵為主泵構成超高真空系統(tǒng),采用閥門的切換可實現(xiàn)兩工位在超高真空度下同時工作且互不干擾,有效提升了電子槍的品質(zhì),縮短了研制進度。每個工位均配置'分子泵啟動允許'、'離子泵啟動允許'、'分解電源開允許'及'真空異常'指示燈,防止誤操作對電子槍部件或除氣系統(tǒng)帶來損壞。測試結果表明微波管電子槍真空除氣系統(tǒng)的工作原理、結構設計合理,性能優(yōu)良,適用于不同型號微波管電子槍,在電子槍研制生產(chǎn)過程中發(fā)揮了重要的作用。