采用鈀鎳薄膜的聲表面波氫氣傳感器研究
作者：梅盛超; 王文; 雷剛 中國科學院聲學研究所; 北京100190; 中國科學院大學; 北京100049; 航天低溫推進劑技術國家重點實驗室; 北京100028
摘要：該文對采用鈀鎳薄膜作為敏感膜的聲表面波氫氣傳感器開展研究,以實現快速的氫氣檢測。傳感器采用雙通道差分振蕩器結構,其中在傳感通道器件聲表面波傳播路徑上以磁控濺射法沉積鈀鎳薄膜,通過鈀鎳薄膜對氫氣的快速和可逆物理吸附引起聲表面波傳播速度的變化,進而以差分振蕩器頻率信號來表征待測氫氣濃度。通過傳感實驗以確定獲得快速響應的鈀鎳的優化厚度。結果表明,在鈀鎳厚為40nm時,傳感器獲得的響應幅度與響應速度分別達5kHz和5s。
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壓電與聲光雜志
壓電與聲光雜志， 雙月刊，本刊重視學術導向，堅持科學性、學術性、先進性、創新性，刊載內容涉及的欄目：聲表面波技術、聲光與光纖技術、壓電及其他功能器件、單晶、薄膜及其他功能材料、實驗技術與測試方法。等。于1979年經新聞總署批準的正規刊物。
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