摘要:超聲換能器是引線鍵合系統的核心部件。給出了引線鍵合系統超聲換能器的壓電換能器和變幅桿的設計方法,設計了一款80kHz集成電路引線鍵合用超聲換能器,運用ANSYS軟件建立其有限元模型并進行了動力學仿真。瞬態分析結果顯示,換能器在受電壓激勵振動后至少要經過500個周期才能進入正常鍵合工作狀態。
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