基于DMD的高速高精度空間光調制器
作者：袁志軍; 王開志 上海交通大學電子信息與電氣工程學院; 上海200240
摘要：現有主流商品化的空間光調制器（Spatial Light Modulator,SLM）基于硅基液晶[1]（Liquid Crystal on Silicon,LCoS）技術,存在著調制精度低、速度慢、幅度和相位無法獨立調制等問題。本文提出的基于數字微鏡陣列器件[2]（Digital Mirror Device,DMD）和共軸光學系統實現的空間光調制器克服了上述存在的問題,并且提高了其光強耐受度。
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光電子技術雜志
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