摘要:利用掃描電鏡、能譜儀、拉力-剪切力測試儀等研究了不同鍍Au厚度的鍍Au鍵合Ag線Free Air Ball(FAB)特性和不同力學性能的鍍Au鍵合Ag線對鍵合強度及其可靠性的影響規律,研究結果表明:鍍Au鍵合Ag線鍍層厚度過小會造成Electronic-Flame-Off(EFO)過程中的FAB偏球及球焊點形狀不穩定,鍍層厚度過大會導致FAB變尖;高強度、低伸長率會造成焊點頸部產生裂紋而造成焊點的拉力偏低并在頸部斷裂,低強度、高伸長率引起頸部晶粒粗大進而降低頸部連接強度;鍍Au鍵合Ag線頸部應力集中或內部組織結構不均勻,在冷熱沖擊周期性形變作用下,球焊點頸部產生裂紋并引起電阻增加,進而導致器件失效.
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