石墨烯基SnO_x-Sn氣體傳感器靈敏度影響因素研究
作者：袁雨桐; 楊洋飛飛; 趙藝遠; 黃文杰; 謝海芬 華東理工大學理學院物理系; 上海200237
摘要：為提高本征石墨烯的氣敏特性,將錫和氧化錫薄膜蒸鍍在氣相沉積法制備的石墨烯表面,制成石墨烯基SnOx-Sn氣體傳感器,通過原子力顯微鏡(AFM)、場發射掃描電鏡(FESEM)對其表面結構進行表征。并測試了其在室溫下對低體積分數甲醛和二氧化氮(NO2)氣體的響應特性。研究并分析了膜蒸發速率、基底加熱時間、氧氣流量對傳感器響應靈敏度的影響。
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傳感器與微系統雜志
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